????為響應國家“腦科學與類腦研究2030重大科技項目”，中國科學院腦科學與智能技術卓越創新中心于2022年在上海G60科創走廊核心區域率先建立了先進腦科學微納加工平臺，這是面向腦智中心、外部科研院所乃至全社會開放的儀器共享科研平臺，也是腦智中心開展半導體器件工藝及其交叉學科研究的重要研究創新平臺。隨著我國科技、經濟、社會發展對神經科學和人工智能技術發展提出了巨大的需求—，我們必須加快建設應對神經系統重大疾病的預防、診斷和治療技術開發，以神經計算、仿真記憶存儲、智能機器為代表的戰略性經濟增長點，也成為搶占未來20—30年智能社會和超智能社會發展先機的關鍵。

????微納平臺目前擁有多名博士及工藝技術人員、設備工程師和安全工程師等，我們將緊緊圍繞中心發展和人才培養目標，建設國內一流科研平臺，支撐半導體加工領域前瞻性和創新性的科學研究。

?????先進腦科學微納加工平臺位于上海市松江區強業路555號B1層，占地1000余平方米。平臺設有百級（ISO-5）和千級（ISO-6）兩個潔凈室區域，布局有清洗、鍍膜、干法刻蝕、光刻、封裝、量測等多道工序的先進半導體設備。同時擁有電子束曝光機、磁控濺射等先進設備，具備全面的半導體器件制備條件。實驗室內還配備了通風櫥、防爆柜、防爆冰箱等專業實驗輔助設備。每年定期會定期檢測內部環境顆粒度，更換潔凈間的空氣過濾器裝置，確保實驗的可靠和穩定性。此外，平臺還配備24小時專業廠務人員，定時巡檢確保實驗室的安全平穩運行。

????在腦機接口領域，微納加工平臺被用于制備各種微型傳感器和電極陣列，用于記錄和識別人腦活動中的電信號，并實現人腦與外部設備的交互和控制。這些設備需要具備高度靈敏度和穩定性，以確?？煽康夭东@和解釋腦信號，從而實現對外部設備的精準控制和交互式操作。 先進腦科學微納加工平臺是一種專門用于制備微型電子機械系統（MEMS）器件的技術設施，其在腦機接口等領域發揮著關鍵作用。該平臺提供了高度精密的微納加工技術，以支持對微米至納米尺度的器件進行精確加工和制備，從而實現了對腦機接口等領域的可靠服務。

????首先在技術專業上具備先進的微納加工工藝，如光刻、薄膜沉積、離子刻蝕等，以實現對MEMS器件的精密加工和制備。這些工藝能夠精確控制材料的形貌和結構，從而保證器件的性能和可靠性。其次，平臺配備了先進的材料處理設備，以滿足不同器件的制備需求。例如，對于腦機接口器件，可能需要特殊的生物相容材料或表面涂層，以確保與生物組織的良好兼容性。此外，微納加工平臺還具備完善的測試與評估系統，以對制備的MEMS器件進行全面的性能測試和可靠性評估。這些測試系統能夠對器件的電性能、力學性能等進行準確的測量和分析，從而保證器件在實際應用中的可靠性和穩定性。

????總之，先進腦科學微納加工平臺在MEMS器件制備領域具有重要意義，尤其在腦機接口等前沿領域的研究和應用中發揮著關鍵作用。通過提供精密的加工技術、先進的材料處理設備和完善的測試與評估系統，為實現可靠的服務和技術創新提供了堅實的基礎。